la系列|harmonic执行元件|-凯发ag旗舰厅

◆产品介绍

1.机型 : la系列 

2.尺寸 : 30, 32 

3.版本符号 a

4.冲程（mm） : 10(la-30b-10-f), 30(la-32-30-f) 

5.安装形状 : f : 法兰安装型 

6.驱动电动机 

 省略 : dc伺服电动机驱动（集电极开路方式） 

  l : dc伺服电动机驱动（直线传动方式）  

7.特殊规格（标准品不标sp）

◆产品型号

◆产品特点

通过采用具有优秀旋转精度的精密控制用减速机harmonic drive 和超精密螺丝，实现高分辨率精密测定，可用于检测设备、光学器械、半导体液晶制造设备等需要微米或亚微米精确定位的场合。

最大进给速度：0.9mm/s

反复定位精度：±0.1微米/行程1mm

空转  ：5微米/行程1mm

可将驱动电动机更换为步进电动机

是兼具小型、高分辨率、高推力的线性传动装置。本系列实现了最大推力49n、分辨率0.0174μm的高精度。

◆产品应用

图像测量中的工件定位 

光盘、hdd、vtr等的高精度组装 

半导体制造设备中的晶片定位 

光学显微镜、相机的焦点位置 

高精度载物台驱动