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雷尼绍光栅&激光干涉仪-resm/rest圆光栅刻划精度达到±0.38角秒,栅距20µm/40µm,圆光栅直径52~550 mm,读数头兼容性vionic、tonic、tonic uhv、tonic fs、quantic;rexm20/rext20圆光栅,安装精度最高达±1角秒(双读数头),栅距20µm,圆光栅直径52~417mm,读数头兼容性vionic、tonic、tonic uhv。